Исследование процесса термического напыления тонких металлических пленок учебно-методическое пособие
Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендовано для студентов физического факультета очной формы обучения по программам бакалавриата. Для направлений: 11.03.04 - Электроника...
Enregistré dans:
| Format: | Книга |
|---|---|
| Langue: | Russian |
| Publié: |
Воронеж
ВГУ
2019
|
| Accès en ligne: | https://e.lanbook.com/book/405659 https://e.lanbook.com/img/cover/book/405659.jpg |
| Tags: |
Ajouter un tag
Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!
|
| Résumé: | Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендовано для студентов физического факультета очной формы обучения по программам бакалавриата. Для направлений: 11.03.04 - Электроника и наноэлектроника; 03.03.03 Радиофизика (специализация «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы»). |
|---|---|
| Description matérielle: | 56 с. |
| Public: | Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки СЭБ |
| Bibliographie: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |