Технология материалов электроники и наноэлектроники методические указания к выполнению лабораторных и практических работ по дисциплине «технология материалов электронной техники» для студентов направления 11.03.04 «электроника и наноэлектроника» всех форм обучения
В методических указаниях рассматриваются методы исследования параметров полупроводниковых, проводящих и диэлектрических материалов, используемых в микро- и наноэлектронном производстве. Рассматриваются методики измерения толщины образцов и их элементного состава, рентгеноструктурный анализ и сканиро...
保存先:
| フォーマット: | Книга |
|---|---|
| 言語: | Russian |
| 出版事項: |
Воронеж
ВГТУ
2024
|
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | https://e.lanbook.com/book/417395 https://e.lanbook.com/img/cover/book/417395.jpg |
| タグ: |
タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|
| 要約: | В методических указаниях рассматриваются методы исследования параметров полупроводниковых, проводящих и диэлектрических материалов, используемых в микро- и наноэлектронном производстве. Рассматриваются методики измерения толщины образцов и их элементного состава, рентгеноструктурный анализ и сканирование с помощью АСМ, спектральные характеристики прозрачных структур, изменение электросопротивления в зависимости от условий окружающей среды. Для каждой работы сформированы теоретическое описание исследуемого метода измерения характеристик, блок измерений и расчётные задания. Предназначены для студентов направления 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» всех профилей и форм обучения. |
|---|---|
| 物理的記述: | 37 с. |
| Audience: | Книга из коллекции ВГТУ - Инженерно-технические науки СЭБ |
| 書誌: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |