Технология материалов электроники и наноэлектроники методические указания к выполнению лабораторных и практических работ по дисциплине «технология материалов электронной техники» для студентов направления 11.03.04 «электроника и наноэлектроника» всех форм обучения
В методических указаниях рассматриваются методы исследования параметров полупроводниковых, проводящих и диэлектрических материалов, используемых в микро- и наноэлектронном производстве. Рассматриваются методики измерения толщины образцов и их элементного состава, рентгеноструктурный анализ и сканиро...
Сохранить в:
| Формат: | Книга |
|---|---|
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Воронеж
ВГТУ
2024
|
| Темы: | |
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/417395 https://e.lanbook.com/img/cover/book/417395.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 03095nam0a2200373 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 417395 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20240628193433.0 | ||
| 008 | 240628s2024 ru gs 000 0 rus | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 621.38(07) | ||
| 084 | |a 32.85я7 |2 rubbk | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Технология материалов электроники и наноэлектроники |b методические указания к выполнению лабораторных и практических работ по дисциплине «технология материалов электронной техники» для студентов направления 11.03.04 «электроника и наноэлектроника» всех форм обучения |
| 260 | |a Воронеж |b ВГТУ |c 2024 | ||
| 300 | |a 37 с. | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a В методических указаниях рассматриваются методы исследования параметров полупроводниковых, проводящих и диэлектрических материалов, используемых в микро- и наноэлектронном производстве. Рассматриваются методики измерения толщины образцов и их элементного состава, рентгеноструктурный анализ и сканирование с помощью АСМ, спектральные характеристики прозрачных структур, изменение электросопротивления в зависимости от условий окружающей среды. Для каждой работы сформированы теоретическое описание исследуемого метода измерения характеристик, блок измерений и расчётные задания. Предназначены для студентов направления 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» всех профилей и форм обучения. | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции ВГТУ - Инженерно-технические науки | |
| 521 | 8 | |a СЭБ | |
| 653 | 0 | |a ЛАБОРАТОРНЫЕ РАБОТЫ | |
| 653 | 0 | |a МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ | |
| 653 | 0 | |a НАНОТЕХНОЛОГИИ | |
| 653 | 0 | |a ПРАКТИЧЕСКИЕ РАБОТЫ | |
| 653 | 0 | |a ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ | |
| 653 | 0 | |a МЕТОДИЧЕСКИЕ ПОСОБИЯ | |
| 653 | 0 | |a МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ | |
| 653 | 0 | |a ВГТУ | |
| 653 | 0 | |a МАКРООБЪЕКТ | |
| 653 | 0 | |a СПРАВОЧНИК МАГНИТНОГО ДИСКА | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/417395 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/417395.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/417395.jpg | ||