Технология материалов электроники и наноэлектроники методические указания к выполнению лабораторных и практических работ по дисциплине «технология материалов электронной техники» для студентов направления 11.03.04 «электроника и наноэлектроника» всех форм обучения
В методических указаниях рассматриваются методы исследования параметров полупроводниковых, проводящих и диэлектрических материалов, используемых в микро- и наноэлектронном производстве. Рассматриваются методики измерения толщины образцов и их элементного состава, рентгеноструктурный анализ и сканиро...
Сохранить в:
| Формат: | Книга |
|---|---|
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Воронеж
ВГТУ
2024
|
| Темы: | |
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/417395 https://e.lanbook.com/img/cover/book/417395.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
