Процессы микро- и нанотехнологий метод. пособие к курсу лекций
Данное учебное пособие предназначено для студентов физико-математического факультета, направлений подготовки: 210600 Нанотехнология; 210100 Электроника и наноэлектроника. Рекомендуется в качестве дополнительного материала к курсу лекций по дисциплине Процессы микро и нанотехнологий. Изучение данной...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Уфа
БГПУ имени М. Акмуллы
2012
|
| Online-ссылка: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=42268 https://e.lanbook.com/img/cover/book/42268.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| Краткое описание: | Данное учебное пособие предназначено для студентов физико-математического факультета, направлений подготовки: 210600 Нанотехнология; 210100 Электроника и наноэлектроника. Рекомендуется в качестве дополнительного материала к курсу лекций по дисциплине Процессы микро и нанотехнологий. Изучение данной дисциплины направлено на ознакомление с кругом актуальных задач современной электроники. В издании рассматриваются основные методы формирования топологии элементов микроэлектроники и нанесения металлических контактов |
|---|---|
| Объем: | 50 с. |
| Аудитория: | Книга из коллекции БГПУ имени М. Акмуллы - Нанотехнологии |
| Библиография: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |