Процессы микро- и нанотехнологий метод. пособие к курсу лекций
Данное учебное пособие предназначено для студентов физико-математического факультета, направлений подготовки: 210600 Нанотехнология; 210100 Электроника и наноэлектроника. Рекомендуется в качестве дополнительного материала к курсу лекций по дисциплине Процессы микро и нанотехнологий. Изучение данной...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Уфа
БГПУ имени М. Акмуллы
2012
|
| Online-ссылка: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=42268 https://e.lanbook.com/img/cover/book/42268.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 01896nam0a2200229 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 42268 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20221220173921.0 | ||
| 008 | 221220s2012 ru gs 000 0 rus | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Процессы микро- и нанотехнологий |b метод. пособие к курсу лекций |c Гадиев Р. М. |
| 260 | |a Уфа |b БГПУ имени М. Акмуллы |c 2012 | ||
| 300 | |a 50 с. | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Данное учебное пособие предназначено для студентов физико-математического факультета, направлений подготовки: 210600 Нанотехнология; 210100 Электроника и наноэлектроника. Рекомендуется в качестве дополнительного материала к курсу лекций по дисциплине Процессы микро и нанотехнологий. Изучение данной дисциплины направлено на ознакомление с кругом актуальных задач современной электроники. В издании рассматриваются основные методы формирования топологии элементов микроэлектроники и нанесения металлических контактов | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции БГПУ имени М. Акмуллы - Нанотехнологии | |
| 100 | 1 | |a Гадиев Р. М. | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=42268 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/42268.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/42268.jpg | ||