Технология и оборудование производства материалов и изделий микроэлектронной техники учебное пособие
Рассматриваются основные принципы и понятия микроэлектроники, классификация микросхем по функциональным и конструкторско-технологическим признакам, активные и пассивные элементы интегральных микросхем. Даны общие сведения о технологии производства полупроводниковых микросхем, их классификация и опис...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Нижний Новгород
НГТУ им. Р. Е. Алексеева
2023
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/492122 https://e.lanbook.com/img/cover/book/492122.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| Краткое описание: | Рассматриваются основные принципы и понятия микроэлектроники, классификация микросхем по функциональным и конструкторско-технологическим признакам, активные и пассивные элементы интегральных микросхем. Даны общие сведения о технологии производства полупроводниковых микросхем, их классификация и описаны основные технологические операции, начиная с получения материалов. Описаны режимы работы и особенности применения оборудования. Подробно изложены физические принципы, на которых основаны современные технологии получения тонкопленочных компонентов интегральных схем. Предназначено для студентов направлений подготовки 11.03.04, 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» всех форм обучения, а также для преподавателей и аспирантов. |
|---|---|
| Объем: | 267 с. |
| Аудитория: | Книга из коллекции НГТУ им. Р. Е. Алексеева - Инженерно-технические науки СЭБ |
| Библиография: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |
| ISBN: | 978-5-502-01726-8 |