Технология и оборудование производства материалов и изделий микроэлектронной техники учебное пособие
Рассматриваются основные принципы и понятия микроэлектроники, классификация микросхем по функциональным и конструкторско-технологическим признакам, активные и пассивные элементы интегральных микросхем. Даны общие сведения о технологии производства полупроводниковых микросхем, их классификация и опис...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Нижний Новгород
НГТУ им. Р. Е. Алексеева
2023
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/492122 https://e.lanbook.com/img/cover/book/492122.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 02584nam0a2200289 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 492122 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20250619132243.0 | ||
| 008 | 250619s2023 ru gs 000 0 rus | ||
| 020 | |a 978-5-502-01726-8 | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 621.38 | ||
| 084 | |a 32.844 |2 rubbk | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Технология и оборудование производства материалов и изделий микроэлектронной техники |b учебное пособие |c Наумов В. И.,Мочалов Г. М. |
| 260 | |a Нижний Новгород |b НГТУ им. Р. Е. Алексеева |c 2023 | ||
| 300 | |a 267 с. | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Рассматриваются основные принципы и понятия микроэлектроники, классификация микросхем по функциональным и конструкторско-технологическим признакам, активные и пассивные элементы интегральных микросхем. Даны общие сведения о технологии производства полупроводниковых микросхем, их классификация и описаны основные технологические операции, начиная с получения материалов. Описаны режимы работы и особенности применения оборудования. Подробно изложены физические принципы, на которых основаны современные технологии получения тонкопленочных компонентов интегральных схем. Предназначено для студентов направлений подготовки 11.03.04, 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» всех форм обучения, а также для преподавателей и аспирантов. | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции НГТУ им. Р. Е. Алексеева - Инженерно-технические науки | |
| 521 | 8 | |a СЭБ | |
| 100 | 1 | |a Наумов В. И. | |
| 700 | 1 | |a Мочалов Г. М. | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/492122 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/492122.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/492122.jpg | ||