Теоретические основы автоматизированного управления
В учебном пособии рассмотрены основы технологических процессов в производстве материалов и изделий электронной техники. В том числе кинетические, диффузионные и поверхностные явления и межфазные взаимодействия в технологических процессах; физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электронно-луч...
Kaydedildi:
| Yazar: | |
|---|---|
| Materyal Türü: | Книга |
| Dil: | Russian |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
Москва
ТУСУР
2001
|
| Online Erişim: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=4958 https://e.lanbook.com/img/cover/book/4958.jpg |
| Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|
| LEADER | 03052nam0a2200253 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 4958 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20221220173859.0 | ||
| 008 | 221220s2001 ru gs 000 0 rus | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 658.012.011.56.01 | ||
| 084 | |a 22.181 |2 rubbk | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Теоретические основы автоматизированного управления |c Ехлаков Ю. П. |
| 260 | |a Москва |b ТУСУР |c 2001 | ||
| 300 | |a 338 с. | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a В учебном пособии рассмотрены основы технологических процессов в производстве материалов и изделий электронной техники. В том числе кинетические, диффузионные и поверхностные явления и межфазные взаимодействия в технологических процессах; физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электронно-лучевой и лазерной технологии; основы технологии изготовления приборов и устройств вакуумной, плазменной, твердотельной и микроэлектроники; основы автоматизации процессов производства электронных приборов и устройств; эксплуатация и сервисное обслуживание технологического оборудования. Большинство разделов содержит математические модели для инженерных расчетов. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» при изучении курсов «Технология материалов и изделий», «Вакуумная и плазменная электроника», «Оптическое материаловедение». Пособие будет полезно для студентов смежных специальностей при изучении курсов «Технология приборов оптической электроники и фотоники», «Специальные вопросы технологии», а также при выполнении курсовых и дипломных работ. | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки | |
| 100 | 1 | |a Ехлаков Ю. П. | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=4958 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/4958.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/4958.jpg | ||