Теоретические основы автоматизированного управления
В учебном пособии рассмотрены основы технологических процессов в производстве материалов и изделий электронной техники. В том числе кинетические, диффузионные и поверхностные явления и межфазные взаимодействия в технологических процессах; физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электронно-луч...
Uloženo v:
Hlavní autor: | |
---|---|
Médium: | Книга |
Jazyk: | Russian |
Vydáno: |
Москва
ТУСУР
2001
|
On-line přístup: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=4958 https://e.lanbook.com/img/cover/book/4958.jpg |
Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|