Вакуумная техника: методические указания к выполнению практических занятий для студентов направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль «Микроэлектроника и твердотельная электроника») всех форм обучения
Методические указания содержат сведения об элементах вакуумных систем, процессах газовыделения из материалов, сорбционных средствах откачки, проектном расчете вакуумных систем. Приведен библиографический список. Предназначены для студентов третьего курса....
Сохранить в:
| Формат: | Книга |
|---|---|
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Воронеж
ВГТУ
2025
|
| Темы: | |
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/496133 https://e.lanbook.com/img/cover/book/496133.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| Краткое описание: | Методические указания содержат сведения об элементах вакуумных систем, процессах газовыделения из материалов, сорбционных средствах откачки, проектном расчете вакуумных систем. Приведен библиографический список. Предназначены для студентов третьего курса. |
|---|---|
| Объем: | 39 с. |
| Аудитория: | Книга из коллекции ВГТУ - Инженерно-технические науки СЭБ |
| Библиография: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |