Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем
Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное ис...
Guardado en:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Книга |
| Lenguaje: | Russian |
| Publicado: |
Москва
ТУСУР
2010
|
| Acceso en línea: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=4968 https://e.lanbook.com/img/cover/book/4968.jpg |
| Etiquetas: |
Agregar Etiqueta
Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!
|
| Sumario: | Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное использование нескольких методов позволяет получить достоверную информацию о физических свойствах исследуемых структур. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология». |
|---|---|
| Descripción Física: | 115 с. |
| Público: | Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки |
| Bibliografía: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |