Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем
Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное ис...
保存先:
| 第一著者: | |
|---|---|
| フォーマット: | Книга |
| 言語: | Russian |
| 出版事項: |
Москва
ТУСУР
2010
|
| オンライン･アクセス: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=4968 https://e.lanbook.com/img/cover/book/4968.jpg |
| タグ: |
タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|
| 要約: | Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное использование нескольких методов позволяет получить достоверную информацию о физических свойствах исследуемых структур. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология». |
|---|---|
| 物理的記述: | 115 с. |
| Audience: | Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки |
| 書誌: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |