Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем
Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное ис...
Збережено в:
| Автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Москва
ТУСУР
2010
|
| Онлайн доступ: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=4968 https://e.lanbook.com/img/cover/book/4968.jpg |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Резюме: | Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное использование нескольких методов позволяет получить достоверную информацию о физических свойствах исследуемых структур. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология». |
|---|---|
| Фізичний опис: | 115 с. |
| Аудиторія: | Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки |
| Бібліографія: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |