Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем
Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное ис...
Сохранить в:
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Sprog: | Russian |
| Udgivet: |
Москва
ТУСУР
2010
|
| Online adgang: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=4968 https://e.lanbook.com/img/cover/book/4968.jpg |
| Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|
| LEADER | 02447nam0a2200229 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 4968 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20221220173859.0 | ||
| 008 | 221220s2010 ru gs 000 0 rus | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем |c Смирнов С. В. |
| 260 | |a Москва |b ТУСУР |c 2010 | ||
| 300 | |a 115 с. | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное использование нескольких методов позволяет получить достоверную информацию о физических свойствах исследуемых структур. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология». | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки | |
| 100 | 1 | |a Смирнов С. В. | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=4968 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/4968.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/4968.jpg | ||