Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем
Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное ис...
Сохранить в:
| Hovedforfatter: | Смирнов С. В. |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Sprog: | Russian |
| Udgivet: |
Москва
ТУСУР
2010
|
| Online adgang: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=4968 https://e.lanbook.com/img/cover/book/4968.jpg |
| Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|
Lignende værker
-
Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем учебное пособие
af: Смирнов, С. В. - Оборудование для производства наногетероструктурных солнечных элементов лабораторный практикум
-
Технологические основы производства полупроводниковых интегральных схем учебное пособие
af: Жаркой М. Ф.
Udgivet: (2016) -
Моделирование и проектирование СВЧ монолитных интегральных схем учебно-методическое пособие по практическим занятиям и самостоятельной работе для обучающихся передовой инженерной школы «электронное приборостроение и системы связи» им. а.в. кобзева
af: Сальников А. С.
Udgivet: (2023) -
Проектирование интегральных схем. Практикум
af: Певцов Е. Ф.
Udgivet: (2024)