Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем
Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное ис...
Salvato in:
| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | Книга |
| Lingua: | Russian |
| Pubblicazione: |
Москва
ТУСУР
2010
|
| Accesso online: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=4968 https://e.lanbook.com/img/cover/book/4968.jpg |
| Tags: |
Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne! !
|