Технология приборов оптической электроники и фотоники
В учебном пособии рассмотрены: подготовка к проведению технологического процесса изготовления приборов оптической электроники и фотоники; технологичность изготовления приборов оптической электроники и фотоники; технология получения высокого вакуума в производстве приборов оптической электроники; меж...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | Книга |
| 语言: | Russian |
| 出版: |
Москва
ТУСУР
2012
|
| 在线阅读: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=5430 https://e.lanbook.com/img/cover/book/5430.jpg |
| 标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|
| LEADER | 02577nam0a2200229 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 5430 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20221220173900.0 | ||
| 008 | 221220s2012 ru gs 000 0 rus | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Технология приборов оптической электроники и фотоники |c Орликов Л. Н. |
| 260 | |a Москва |b ТУСУР |c 2012 | ||
| 300 | |a 87 с. | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a В учебном пособии рассмотрены: подготовка к проведению технологического процесса изготовления приборов оптической электроники и фотоники; технологичность изготовления приборов оптической электроники и фотоники; технология получения высокого вакуума в производстве приборов оптической электроники; межфазные взаимодействия в технологии формирования приборов оптической электроники и фотоники; технология подготовки поверхности оптических материалов к технологическим процессам (очистка); методы формирования нанослоев для приборов оптической электроники и фотоники; процесс эпитаксиального выращивания структур для приборов оптической электроники; основы технологии изготовления оптоэлектронных приборов. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоинформатика» по дисциплине «Технология приборов оптической электроники и фотоники» | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки | |
| 100 | 1 | |a Орликов Л. Н. | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=5430 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/5430.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/5430.jpg | ||