Моделирование технологии и параметров кремниевых наноразмерных транзисторных структур учебное пособие для вузов
Составлено в соответствии с Государственным образовательным стандартом по дисциплине «Наноэлектронная технология». Изложены основные темы учебного материала, входящего в лекционный курс. А именно: рассмотрены вопросы математического моделирования процессов ионного внедрения примесей в кремний с испо...
Сохранить в:
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Andre forfattere: | , |
| Format: | Книга |
| Sprog: | Russian |
| Udgivet: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2012
|
| Online adgang: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75726 https://e.lanbook.com/img/cover/book/75726.jpg |
| Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|