Моделирование технологии и параметров кремниевых наноразмерных транзисторных структур учебное пособие для вузов
Составлено в соответствии с Государственным образовательным стандартом по дисциплине «Наноэлектронная технология». Изложены основные темы учебного материала, входящего в лекционный курс. А именно: рассмотрены вопросы математического моделирования процессов ионного внедрения примесей в кремний с испо...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 其他作者: | , |
| 格式: | Книга |
| 语言: | Russian |
| 出版: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2012
|
| 在线阅读: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75726 https://e.lanbook.com/img/cover/book/75726.jpg |
| 标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|