Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций учебное пособие для вузов
В пособии рассмотрены особенности различных методов получения эпитаксиальных полупроводниковых гетерокомпозиций на основе твердых растворов соединений А 3 В 5 , А 2 В 6 , А 2 В 4 , твердых растворов германий–кремний, аппаратурнометодические особенности каждого метода, их преимущества и недостатки, д...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | , |
| Médium: | Книга |
| Jazyk: | Russian |
| Vydáno: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2012
|
| On-line přístup: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75731 https://e.lanbook.com/img/cover/book/75731.jpg |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|
| LEADER | 03506nam0a2200301 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 75731 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20221220173950.0 | ||
| 008 | 221220s2012 ru gs 000 0 rus | ||
| 020 | |a 978-5-7262-1589-1 | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 621.382(075.8) | ||
| 084 | |a 22.3 |2 rubbk | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций |b учебное пособие для вузов |c Ратушный В. И.,Ермолаева Н. В.,Смолин А. Ю. |
| 260 | |a Москва |b НИЯУ МИФИ |c 2012 | ||
| 300 | |a 200 с. | ||
| 500 | |a Рекомендовано УМО «Ядерные физика и технологии» в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a В пособии рассмотрены особенности различных методов получения эпитаксиальных полупроводниковых гетерокомпозиций на основе твердых растворов соединений А 3 В 5 , А 2 В 6 , А 2 В 4 , твердых растворов германий–кремний, аппаратурнометодические особенности каждого метода, их преимущества и недостатки, дальнейшие перспективы развития и применения. Большое внимание уделено используемому технологическому оборудованию и физическим процессам, лежащим в основе каждого метода, а также методам жидкофазной эпитаксии и получению многокомпонентных твердых растворов соединений A III B V . Пособие составлено в соответствии с Государственным образовательным стандартом по дисциплинам «Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций», «Технологии материалов электронной техники». Предназначено для организации самостоятельной работы студентов очной формы обучения по направлению подготовки 210100 – «Электроника и наноэлектроника», профиль подготовки «Микроэлектроника и твердотельная электроника», а также для аспирантов, научных сотрудников и инженеров-технологов, специализирующихся в области технологии материалов электронной техники. | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции НИЯУ МИФИ - Инженерно-технические науки | |
| 100 | 1 | |a Ратушный В. И. | |
| 700 | 1 | |a Ермолаева Н. В. | |
| 700 | 1 | |a Смолин А. Ю. | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75731 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/75731.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/75731.jpg | ||