Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций учебное пособие для вузов
В пособии рассмотрены особенности различных методов получения эпитаксиальных полупроводниковых гетерокомпозиций на основе твердых растворов соединений А 3 В 5 , А 2 В 6 , А 2 В 4 , твердых растворов германий–кремний, аппаратурнометодические особенности каждого метода, их преимущества и недостатки, д...
Сохранить в:
| Главный автор: | Ратушный В. И. |
|---|---|
| Другие авторы: | Ермолаева Н. В., Смолин А. Ю. |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2012
|
| Online-ссылка: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75731 https://e.lanbook.com/img/cover/book/75731.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
Схожие документы
-
Технология эпитаксиальных слоев и гетерокомпозиций учебно-методическое пособие
Автор: Кожитов, Л. В. -
Физика и технология наноструктурных гетерокомпозиций учебник
Автор: Ковалев, А. Н. -
Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций курс лекций
Автор: Кузнецов, Г. Д. -
Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
Автор: Кузнецов Г. Д.
Опубликовано: (2018) - Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие