Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций учебное пособие для вузов
В пособии рассмотрены особенности различных методов получения эпитаксиальных полупроводниковых гетерокомпозиций на основе твердых растворов соединений А 3 В 5 , А 2 В 6 , А 2 В 4 , твердых растворов германий–кремний, аппаратурнометодические особенности каждого метода, их преимущества и недостатки, д...
Сохранить в:
Главный автор: | |
---|---|
Другие авторы: | , |
Формат: | Книга |
Язык: | Russian |
Опубликовано: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2012
|
Online-ссылка: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75731 https://e.lanbook.com/img/cover/book/75731.jpg |
Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|