Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
Учебное пособие посвящено основам технологических процессов получения тонких пленок, исследованию их свойств, изготовлению и применению изделий из них. Учебное пособие может быть рекомендовано для студентов, специализирующихся в области технологии тонких пленок, обучающихся по специальности «Физика...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2008
|
| Online-ссылка: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75918 https://e.lanbook.com/img/cover/book/75918.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 02304nam0a2200277 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 75918 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20221220173950.0 | ||
| 008 | 221220s2008 ru gs 000 0 rus | ||
| 020 | |a 978-5-7262-1036-0 | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 539.23(075) | ||
| 084 | |a 22.37я7 |2 rubbk | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Технология тонких пленок |b учебное пособие для вузов |c Антоненко С. В. |
| 260 | |a Москва |b НИЯУ МИФИ |c 2008 | ||
| 300 | |a 104 с. | ||
| 500 | |a Рекомендовано УМО «Ядерные физика и технологии» в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Учебное пособие посвящено основам технологических процессов получения тонких пленок, исследованию их свойств, изготовлению и применению изделий из них. Учебное пособие может быть рекомендовано для студентов, специализирующихся в области технологии тонких пленок, обучающихся по специальности «Физика конденсированного вещества» на кафедре «Физика твердого тела и наносистем». Пособие также может быть рекомендовано для студентов, аспирантов, слушателей групп повышения квалификации и переподготовки специалистов промышленности в области получения и исследования тонких пленок и наносистем. | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции НИЯУ МИФИ - Физика | |
| 100 | 1 | |a Антоненко С. В. | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75918 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/75918.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/75918.jpg | ||