Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
Учебное пособие посвящено основам технологических процессов получения тонких пленок, исследованию их свойств, изготовлению и применению изделий из них. Учебное пособие может быть рекомендовано для студентов, специализирующихся в области технологии тонких пленок, обучающихся по специальности «Физика...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2008
|
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75918 https://e.lanbook.com/img/cover/book/75918.jpg |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Similar Items
Получение тонких пленок карбида кремния и их структурный анализ
by: Чурашев, Д. И.
Published: (2018)
by: Чурашев, Д. И.
Published: (2018)
