Технологические основы производства полупроводниковых интегральных схем учебное пособие
Приведены базовые техпроцессы изготовления элементов полупроводниковых интегральных схем. Рассмотрен контроль качества кристаллов ИС. Предназначено для студентов дневной формы обучения по специальностям 200100 "Приборостроение", 221700 "Стандартизация и метрология", 210400 и 2106...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Санкт-Петербург
БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова
2016
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/98208 https://e.lanbook.com/img/cover/book/98208.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| Краткое описание: | Приведены базовые техпроцессы изготовления элементов полупроводниковых интегральных схем. Рассмотрен контроль качества кристаллов ИС. Предназначено для студентов дневной формы обучения по специальностям 200100 "Приборостроение", 221700 "Стандартизация и метрология", 210400 и 210601 "Радиоэлектронные системы", а также для студентов вечернего факультета при курсовом и дипломном проектировании |
|---|---|
| Объем: | 123 с. |
| Аудитория: | Книга из коллекции БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова - Инженерно-технические науки |
| Библиография: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |
| ISBN: | 978-5-85546-944-8 |