Технологические основы производства полупроводниковых интегральных схем учебное пособие
Приведены базовые техпроцессы изготовления элементов полупроводниковых интегральных схем. Рассмотрен контроль качества кристаллов ИС. Предназначено для студентов дневной формы обучения по специальностям 200100 "Приборостроение", 221700 "Стандартизация и метрология", 210400 и 2106...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Санкт-Петербург
БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова
2016
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/98208 https://e.lanbook.com/img/cover/book/98208.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 01832nam0a2200253 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 98208 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20221220174002.0 | ||
| 008 | 221220s2016 ru gs 000 0 rus | ||
| 020 | |a 978-5-85546-944-8 | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 621.3.049.77-047.84 | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Технологические основы производства полупроводниковых интегральных схем |b учебное пособие |c Жаркой М. Ф. |
| 260 | |a Санкт-Петербург |b БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова |c 2016 | ||
| 300 | |a 123 с. | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Приведены базовые техпроцессы изготовления элементов полупроводниковых интегральных схем. Рассмотрен контроль качества кристаллов ИС. Предназначено для студентов дневной формы обучения по специальностям 200100 "Приборостроение", 221700 "Стандартизация и метрология", 210400 и 210601 "Радиоэлектронные системы", а также для студентов вечернего факультета при курсовом и дипломном проектировании | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова - Инженерно-технические науки | |
| 100 | 1 | |a Жаркой М. Ф. | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/98208 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/98208.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/98208.jpg | ||