Плазмохимическое осаждение аморфных гидрогенизированных пленок α-С:N:H и их анализ
Salvato in:
| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | ВКР |
| Lingua: | Russian |
| Pubblicazione: |
2018
|
| Accesso online: | https://dspace.ncfu.ru:443/handle/20.500.12258/1879 |
| Tags: |
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