Получение тонких пленок карбида кремния и их структурный анализ
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| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | ВКР |
| Lingua: | Russian |
| Pubblicazione: |
2018
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| Accesso online: | https://dspace.ncfu.ru:443/handle/20.500.12258/2325 |
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