Անցեք բովանդակությանը
APA (7th ed.) մեջբերում

Tarala, V. A., Тарала, В. А., Altakhov, A. S., Алтахов, А. С., Ambartsumov, M. G., Амбарцумов, М. Г., . . . Шевченко, М. Ю. (2018). Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.

Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերում

Tarala, V. A., et al. Growth of Heteroepitaxial Aluminium Nitride Films on Aluminium Oxide Substrates via PEALD Method. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc, 2018.

MLA (8րդ խմբ.) Մեջբերում

Tarala, V. A., et al. Growth of Heteroepitaxial Aluminium Nitride Films on Aluminium Oxide Substrates via PEALD Method. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc, 2018.

Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.