Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники Учебное пособие
Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов применяемых в технологии микро- и наноструктур которые интенсивно развиваются в последнее время. В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики рассмотр...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Учебное пособие |
| Редакция: | 2 |
| Серии: | Высшее образование: Бакалавриат |
| Online-ссылка: | https://znanium.com/catalog/document?id=355648 https://znanium.com/cover/1013/1013436.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 03518nam0a2200445 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\infra-m\znanium\bibl\1013436 | ||
| 003 | https://znanium.com/catalog/document?id=355648 | ||
| 005 | 20230315000000.0 | ||
| 010 | |a 978-5-369-01299-4 | ||
| 010 | |a 978-5-16-100019-9 |b электр. издание | ||
| 010 | |a 978-5-16-009298-0 |b ISBN соиздателя | ||
| 100 | |a 20230315d2020 m y0rusy0150 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники |e Учебное пособие | |
| 205 | |a 2 | ||
| 210 | 1 | |a Москва |c Издательский Центр РИОР |d 2019 | |
| 215 | |a 240 с. | ||
| 225 | 1 | |a Высшее образование: Бакалавриат | |
| 330 | |a Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов применяемых в технологии микро- и наноструктур которые интенсивно развиваются в последнее время. В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур особенности получения и применения пористого кремния описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа катодного осаждения металлов и полупроводников их применение в технологии УБИС МЭМС и нанотехнологии. Предназначено для студентов аспирантов научных работников и инженеров. | ||
| 333 | |a ВО - Бакалавриат | ||
| 606 | |a Радиоэлектроника. Автоматика. Связь |x Микроэлектроника. Наноэлектроника |2 local | ||
| 608 | |a Учебное пособие |2 local | ||
| 675 | |a 544.6:621.3(075.8) |z rus | ||
| 686 | |a 24.57я73 |2 rubbk | ||
| 686 | |a 11.03.03 |2 okso | ||
| 686 | |a 11.03.04 |2 okso | ||
| 686 | |a 11.04.04 |2 okso | ||
| 686 | |a 28.03.01 |2 okso | ||
| 686 | |a 28.03.02 |2 okso | ||
| 686 | |a 28.03.03 |2 okso | ||
| 686 | |a 28.04.01 |2 okso | ||
| 686 | |a 28.04.02 |2 okso | ||
| 686 | |a 28.04.03 |2 okso | ||
| 686 | |a 28.04.04 |2 okso | ||
| 700 | 1 | |a Гаврилов |b А.С. | |
| 701 | 1 | |a Белов |b А.Н. |g Алексей Николаевич |p Московский институт электронной техники | |
| 801 | 0 | |a RU |b Общество с ограниченной ответственностью «ЗНАНИУМ» |c 20181208 |2 rusmarc | |
| 856 | 4 | |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=355648 | |
| 856 | 4 | 1 | |a znanium.com |d /cover/1013 |f 1013436.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/1013/1013436.jpg |