Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии Учебное пособие
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой режимы обработки процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев отжига и легирования полупроводниковых структур формирование контактно-металлизационной системы планаризация. а также получение диэ...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Учебное пособие |
| Online-ссылка: | https://znanium.com/catalog/document?id=339519 https://znanium.com/cover/1020/1020493.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 02854nam0a2200313 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\infra-m\znanium\bibl\1020493 | ||
| 003 | https://znanium.com/catalog/document?id=339519 | ||
| 005 | 20190810000000.0 | ||
| 010 | |a 978-5-9275-2395-5 | ||
| 100 | |a 20190810d2019 m y0rusy0150 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии |e Учебное пособие |f Южный федеральный университет | |
| 210 | 1 | |a Ростов-на-Дону |c Издательство Южного федерального университета (ЮФУ) |d 2017 | |
| 215 | |a 104 с. | ||
| 330 | |a В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой режимы обработки процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев отжига и легирования полупроводниковых структур формирование контактно-металлизационной системы планаризация. а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника. 11.04.03 -Конструирование и технология электронных средств. 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии». | ||
| 333 | |a ВО - Магистратура | ||
| 606 | |a Радиоэлектроника. Автоматика. Связь |x Микроэлектроника. Наноэлектроника |2 local | ||
| 608 | |a Учебное пособие |2 local | ||
| 675 | |a 621 |z rus | ||
| 686 | |a 328 |2 rubbk | ||
| 686 | |a 11.04.03 |2 okso | ||
| 686 | |a 11.04.04 |2 okso | ||
| 686 | |a 28.04.01 |2 okso | ||
| 700 | 1 | |a Светличный |b А.М. |g Александр Михайлович |p Южный федеральный университет | |
| 701 | 1 | |a Житяев |b И.Л. |g Игорь Леонидович |p Южный федеральный университет | |
| 801 | 0 | |a RU |b Общество с ограниченной ответственностью «ЗНАНИУМ» |c 20190226 |2 rusmarc | |
| 856 | 4 | |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=339519 | |
| 856 | 4 | 1 | |a znanium.com |d /cover/1020 |f 1020493.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/1020/1020493.jpg |