Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии Учебное пособие
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой режимы обработки процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев отжига и легирования полупроводниковых структур формирование контактно-металлизационной системы планаризация. а также получение диэ...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Учебное пособие |
| Online-ссылка: | https://znanium.com/catalog/document?id=339519 https://znanium.com/cover/1020/1020493.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
