Технологические процессы в микро- и наноэлектронике Учебное пособие
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии соответствующему оборудованию и оснастке используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Учебное пособие |
| Online-ссылка: | https://znanium.com/catalog/document?id=346720 https://znanium.com/cover/1053/1053392.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 02907nam0a2200313 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\infra-m\znanium\bibl\1053392 | ||
| 003 | https://znanium.com/catalog/document?id=346720 | ||
| 005 | 20231013000000.0 | ||
| 010 | |a 978-5-9729-0337-5 | ||
| 100 | |a 20231013d2019 m y0rusy0150 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Технологические процессы в микро- и наноэлектронике |e Учебное пособие |f Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники | |
| 210 | 1 | |a Вологда |c Инфра-Инженерия |d 2019 | |
| 215 | |a 352 с. | ||
| 330 | |a Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии соответствующему оборудованию и оснастке используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоев с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника радиотехника и системы связи» а также инженеров занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов. | ||
| 333 | |a ВО - Бакалавриат | ||
| 606 | |a Радиоэлектроника. Автоматика. Связь |x Микроэлектроника. Наноэлектроника |2 local | ||
| 608 | |a Учебное пособие |2 local | ||
| 675 | |a 621 |z rus | ||
| 686 | |a 3285 |2 rubbk | ||
| 686 | |a 11.03.01 |2 okso | ||
| 686 | |a 11.03.02 |2 okso | ||
| 686 | |a 11.03.03 |2 okso | ||
| 686 | |a 11.03.04 |2 okso | ||
| 700 | 1 | |a Родионов |b Ю.А. |g Юрий Анатольевич |p Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники | |
| 801 | 0 | |a RU |b Общество с ограниченной ответственностью «ЗНАНИУМ» |c 20190807 |2 rusmarc | |
| 856 | 4 | |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=346720 | |
| 856 | 4 | 1 | |a znanium.com |d /cover/1053 |f 1053392.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/1053/1053392.jpg |