Технологические процессы в микро- и наноэлектронике Учебное пособие
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии соответствующему оборудованию и оснастке используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Учебное пособие |
| Online-ссылка: | https://znanium.com/catalog/document?id=346720 https://znanium.com/cover/1053/1053392.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
