Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения Учебное пособие
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование виды источников излучения их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур получения графеновых пленок изгото...
Bewaard in:
Hoofdauteur: | |
---|---|
Formaat: | Учебное пособие |
Online toegang: | https://znanium.com/catalog/document?id=357394 https://znanium.com/cover/1088/1088101.jpg |
Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|
ISBN: | 978-5-9275-3097-7 |
---|