Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения Учебное пособие
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование виды источников излучения их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур получения графеновых пленок изгото...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Учебное пособие |
| Online-ссылка: | https://znanium.com/catalog/document?id=357394 https://znanium.com/cover/1088/1088101.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 03063nam0a2200325 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\infra-m\znanium\bibl\1088101 | ||
| 003 | https://znanium.com/catalog/document?id=357394 | ||
| 005 | 20200218000000.0 | ||
| 010 | |a 978-5-9275-3097-7 | ||
| 100 | |a 20200218d2020 m y0rusy0150 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения |e Учебное пособие |f Южный федеральный университет | |
| 210 | 1 | |a Ростов-на-Дону |c Издательство Южного федерального университета (ЮФУ) |d 2018 | |
| 215 | |a 96 с. | ||
| 330 | |a В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование виды источников излучения их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур получения графеновых пленок изготовления суперконденсаторов матричных острийных структур супергидрофобных и супергидрофильных поверхностей. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника 11.04.03 - Конструирование и технология электронных средств 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии». | ||
| 333 | |a ВО - Магистратура | ||
| 606 | |a Радиоэлектроника. Автоматика. Связь |x Микроэлектроника. Наноэлектроника |2 local | ||
| 608 | |a Учебное пособие |2 local | ||
| 675 | |a 621 |z rus | ||
| 686 | |a 3284 |2 rubbk | ||
| 686 | |a 3285 |2 rubbk | ||
| 686 | |a 11.04.03 |2 okso | ||
| 686 | |a 11.04.04 |2 okso | ||
| 686 | |a 28.04.01 |2 okso | ||
| 700 | 1 | |a Светличный |b А.М. |g Александр Михайлович |p Южный федеральный университет | |
| 701 | 1 | |a Житяев |b И.Л. |g Игорь Леонидович |p Южный федеральный университет | |
| 801 | 0 | |a RU |b Общество с ограниченной ответственностью «ЗНАНИУМ» |c 20200218 |2 rusmarc | |
| 856 | 4 | |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=357394 | |
| 856 | 4 | 1 | |a znanium.com |d /cover/1088 |f 1088101.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/1088/1088101.jpg |