Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники Учебное пособие
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены...
Sparad:
| Huvudupphovsman: | |
|---|---|
| Materialtyp: | Учебное пособие |
| Länkar: | https://znanium.com/catalog/document?id=397452 https://znanium.com/cover/1868/1868895.jpg |
| Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|
| LEADER | 04953nam0a2200337 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\infra-m\znanium\bibl\1868895 | ||
| 003 | https://znanium.com/catalog/document?id=397452 | ||
| 005 | 20220303000000.0 | ||
| 010 | |a 978-5-7782-3915-9 | ||
| 100 | |a 20220303d2022 m y0rusy0150 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники |e Учебное пособие |f Новосибирский государственный технический университет | |
| 210 | 1 | |a Новосибирск |c Новосибирский государственный технический университет (НГТУ) |d 2019 | |
| 215 | |a 107 с. | ||
| 330 | |a Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены результаты исследований начатых в 1970-х годах в Институте физики полупроводников Академии наук СССР и исследовательских отделах предприятий электронной промышленности г. Новосибирска. Рассмотрена совокупность вопросов связанных с методологией и технологией получения высококачественных ТП для изделий микроэлектроники показана возрастающая роль ТП технологий в технологических маршрутах изготовления изделий рассмотрены тенденции развития типы и характеристики оборудования для процессов производства ИМС технологические процессы получения различных ТП материалов на основе кремния свойства ТП материалов. Учебное пособие разработано в соответствии с рабочей программой учебной дисциплины «Семинары по специальности» образовательная программа: 11.04.04. «Электроника и наноэлектроника» магистерская программа «Микро- и наноэлектроника». Рекомендуется также для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 («Электроника и наноэлектроника») 28.03.01 и 28.04.01 («Нанотехнологии и микросистемная техника») в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники микросистемной техники наноэлектроники. Также рекомендуется для аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника радиотехника и системы связи» представляет интерес для технологов производства ИМС исследователей в области нанотехнологий. | ||
| 333 | |a ВО - Бакалавриат | ||
| 606 | |a Радиоэлектроника. Автоматика. Связь |x Микроэлектроника. Наноэлектроника |2 local | ||
| 608 | |a Учебное пособие |2 local | ||
| 675 | |a 539 |z rus | ||
| 675 | |a 621 |z rus | ||
| 686 | |a 312 |2 rubbk | ||
| 686 | |a 11.03.04 |2 okso | ||
| 686 | |a 11.04.04 |2 okso | ||
| 686 | |a 11.06.01 |2 okso | ||
| 686 | |a 28.03.01 |2 okso | ||
| 686 | |a 28.04.01 |2 okso | ||
| 700 | 1 | |a Васильев |b В.Ю. |g Владислав Юрьевич |p Новосибирский государственный технический университет | |
| 801 | 0 | |a RU |b Общество с ограниченной ответственностью «ЗНАНИУМ» |c 20220302 |2 rusmarc | |
| 856 | 4 | |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=397452 | |
| 856 | 4 | 1 | |a znanium.com |d /cover/1868 |f 1868895.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/1868/1868895.jpg |