Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники Учебное пособие
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены...
保存先:
第一著者: | Васильев В.Ю |
---|---|
フォーマット: | Учебное пособие |
オンライン・アクセス: | https://znanium.com/catalog/document?id=397452 https://znanium.com/cover/1868/1868895.jpg |
タグ: |
タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|
類似資料
-
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
著者:: Васильев В. Ю.
出版事項: (2019) -
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
著者:: Васильев, В. Ю. -
Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
著者:: Антоненко С. В.
出版事項: (2008) -
Технология тонких пленок: практикум
著者:: Никулин Д. М.
出版事項: (2023) -
Оптические свойства тонких диэлектрических пленок Учебное пособие
著者:: Твердохлеб П.В