Основы технологии электронной компонентной базы Учебное пособие
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники такие как производство полупроводниковых пластин их легирование нанесение тонких пленок фотолитография травление металлизация контроль процес...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Учебное пособие |
| Online Access: | https://znanium.com/catalog/document?id=417174 https://znanium.com/cover/1902/1902462.jpg |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|