Основы технологии электронной компонентной базы Учебное пособие
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники такие как производство полупроводниковых пластин их легирование нанесение тонких пленок фотолитография травление металлизация контроль процес...
Spremljeno u:
| Glavni autor: | |
|---|---|
| Format: | Учебное пособие |
| Online pristup: | https://znanium.com/catalog/document?id=417174 https://znanium.com/cover/1902/1902462.jpg |
| Oznake: |
Dodaj oznaku
Bez oznaka, Budi prvi tko označuje ovaj zapis!
|