Основы технологии электронной компонентной базы Учебное пособие
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники такие как производство полупроводниковых пластин их легирование нанесение тонких пленок фотолитография травление металлизация контроль процес...
Сохранить в:
主要作者: | |
---|---|
格式: | Учебное пособие |
在线阅读: | https://znanium.com/catalog/document?id=417174 https://znanium.com/cover/1902/1902462.jpg |
标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|