Технология интегральных микросхем Учебное пособие
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Констр...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Учебное пособие |
| Online-ссылка: | https://znanium.com/catalog/document?id=434586 https://znanium.com/cover/2100/2100449.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 02240nam0a2200277 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\infra-m\znanium\bibl\2100449 | ||
| 003 | https://znanium.com/catalog/document?id=434586 | ||
| 005 | 20231013000000.0 | ||
| 010 | |a 978-5-9729-1232-2 | ||
| 100 | |a 20231013d2023 m y0rusy0150 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Технология интегральных микросхем |e Учебное пособие |f Ульяновский государственный технический университет | |
| 210 | 1 | |a Вологда |c Инфра-Инженерия |d 2023 | |
| 215 | |a 244 с. | ||
| 330 | |a Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств» профиль «Конструирование и технология электронных средств». | ||
| 333 | |a ВО - Бакалавриат | ||
| 606 | |a Радиоэлектроника. Автоматика. Связь |x Микроэлектроника. Наноэлектроника |2 local | ||
| 608 | |a Учебное пособие |2 local | ||
| 675 | |a 621 |z rus | ||
| 686 | |a 3296 |2 rubbk | ||
| 686 | |a 11.03.03 |2 okso | ||
| 700 | 1 | |a Смирнов |b В.И. |g Виталий Иванович |p Ульяновский государственный технический университет | |
| 801 | 0 | |a RU |b Общество с ограниченной ответственностью «ЗНАНИУМ» |c 20230821 |2 rusmarc | |
| 856 | 4 | |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=434586 | |
| 856 | 4 | 1 | |a znanium.com |d /cover/2100 |f 2100449.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/2100/2100449.jpg |