Введение в современную микро- и наносистемную технику Учебное пособие
Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Учебное пособие |
| Online-ссылка: | https://znanium.ru/catalog/document?id=453234 https://znanium.ru/cover/2173/2173268.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 03116nam0a2200289 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\infra-m\znanium\bibl\2173268 | ||
| 003 | https://znanium.ru/catalog/document?id=453234 | ||
| 005 | 20240916000000.0 | ||
| 010 | |a 978-5-9729-1613-9 | ||
| 100 | |a 20240916d2024 m y0rusy0150 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Введение в современную микро- и наносистемную технику |e Учебное пособие |e Учебное пособие |f Новосибирский государственный технический университет | |
| 210 | 1 | |a Вологда |c Инфра-Инженерия |d 2024 | |
| 215 | |a 232 с. | ||
| 330 | |a Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники. Для студентов обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» для колледжей микроэлектронного направления и широкого круга читателей. | ||
| 333 | |a Профессиональное образование | ||
| 606 | |a Радиоэлектроника. Автоматика. Связь |x Микроэлектроника. Наноэлектроника |2 local | ||
| 608 | |a Учебное пособие |2 local | ||
| 675 | |a 621 |z rus | ||
| 686 | |a 3284 |2 rubbk | ||
| 686 | |a 12.04.01 |2 okso | ||
| 686 | |a 28.03.01 |2 okso | ||
| 700 | 1 | |a Гридчин |b А.В. |g Александр Викторович |p Новосибирский государственный технический университет | |
| 801 | 0 | |a RU |b Общество с ограниченной ответственностью «ЗНАНИУМ» |c 20240913 |2 rusmarc | |
| 856 | 4 | |a znanium.ru |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.ru/catalog/document?id=453234 | |
| 856 | 4 | 1 | |a znanium.ru |d /cover/2173 |f 2173268.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.ru/cover/2173/2173268.jpg |