Основы технологии материалов микроэлектроники Учебно-методическая литература
В пособии кратко изложены основные представления о технологи-ческих методах и процессах используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ. Адресовано с...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Учебно-методическая литература |
| Online-ссылка: | https://znanium.com/catalog/document?id=64968 https://znanium.com/cover/0546/546218.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 02658nam0a2200289 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\infra-m\znanium\bibl\546218 | ||
| 003 | https://znanium.com/catalog/document?id=64968 | ||
| 005 | 20210419000000.0 | ||
| 010 | |a 978-5-7782-1420-0 | ||
| 100 | |a 20210419d2016 m y0rusy0150 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Основы технологии материалов микроэлектроники |e Учебно-методическая литература |f Новосибирский государственный технический университет | |
| 210 | 1 | |a Новосибирск |c Новосибирский государственный технический университет (НГТУ) |d 2010 | |
| 215 | |a 96 с. | ||
| 330 | |a В пособии кратко изложены основные представления о технологи-ческих методах и процессах используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ. Адресовано студентам дневной и заочной форм обучения направ-лений: 210100 «Электроника и микроэлектроника» 210600 - «Нано-технология» специальностей: 210104 - «Микроэлектроника и твердо-тельная электроника 210108 - «Микросистемная техника». | ||
| 333 | |a ВО - Бакалавриат | ||
| 606 | |a Радиоэлектроника. Автоматика. Связь |x Микроэлектроника. Наноэлектроника |2 local | ||
| 608 | |a Учебно-методическая литература |2 local | ||
| 675 | |a 621 |z rus | ||
| 686 | |a 3285 |2 rubbk | ||
| 686 | |a 11.03.04 |2 okso | ||
| 686 | |a 11.04.04 |2 okso | ||
| 700 | 1 | |a Каменская |b А.В. |g Анна Викторовна |p Новосибирский государственный технический университет | |
| 801 | 0 | |a RU |b Общество с ограниченной ответственностью «ЗНАНИУМ» |c 20160209 |2 rusmarc | |
| 856 | 4 | |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=64968 | |
| 856 | 4 | 1 | |a znanium.com |d /cover/0546 |f 546218.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/0546/546218.jpg |