Физические основы вакуумной техники Учебное пособие
Рассмотрены физические основы работы наиболее распростра- ненных типов вакуумных насосов манометрических датчиков давле- ния и масс-спектрометров а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практиче- ских навыков работы с оборудованием предлагаются соо...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Учебное пособие |
| Online-ссылка: | https://znanium.com/catalog/document?id=107602 https://znanium.com/cover/0546/546221.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 02569nam0a2200301 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\infra-m\znanium\bibl\546221 | ||
| 003 | https://znanium.com/catalog/document?id=107602 | ||
| 005 | 20190327000000.0 | ||
| 010 | |a 978-5-7782-2424-7 | ||
| 100 | |a 20190327d2016 m y0rusy0150 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Физические основы вакуумной техники |e Учебное пособие | |
| 210 | 1 | |a Новосибирск |c Новосибирский государственный технический университет (НГТУ) |d 2014 | |
| 215 | |a 84 с. | ||
| 330 | |a Рассмотрены физические основы работы наиболее распростра- ненных типов вакуумных насосов манометрических датчиков давле- ния и масс-спектрометров а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практиче- ских навыков работы с оборудованием предлагаются соответствую- щие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов обучающихся по направ- лению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов занимающихся эксплуатаци- ей вакуумного технологического оборудования. | ||
| 333 | |a Профессиональное образование | ||
| 606 | |a Промышленность. Энергетика |x Электроэнергетика. Электротехника |2 local | ||
| 608 | |a Учебное пособие |2 local | ||
| 675 | |a 621 |z rus | ||
| 686 | |a 312 |2 rubbk | ||
| 686 | |a 13.03.02 |2 okso | ||
| 686 | |a 13.04.02 |2 okso | ||
| 700 | 1 | |a Беркин |b А.Б. |g Александр Борисович | |
| 701 | 1 | |a Василевский |b А.И. |g Александр Иванович | |
| 801 | 0 | |a RU |b Общество с ограниченной ответственностью «ЗНАНИУМ» |c 20160209 |2 rusmarc | |
| 856 | 4 | |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=107602 | |
| 856 | 4 | 1 | |a znanium.com |d /cover/0546 |f 546221.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/0546/546221.jpg |