Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II Учебное пособие
Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экс- периментальной техники методов электронной спектроскопии микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных мате- риалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в со- временной науке...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Учебное пособие |
| Online Access: | https://znanium.com/catalog/document?id=235022 https://znanium.com/cover/0546/546528.jpg |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
