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    Плазмохимическое осаждение аморфных гидрогенизированных пленок α-С:N:H и их анализ
    von Волков, Д. В.
    Veröffentlicht 2018
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    ВКР
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    Плазмохимическое осаждение аморфных гидрогенизированных пленок α-С:N:H и их анализ
    von Волков, Д. В.
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