Технология производства интегральных микросхем
В книге описаны основные технологические процессы производства микросхем: механической обработки полупроводников и диэлектриков, очистки пластин и подложек.
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
НБ СевКавГТУ
|
| Subjects: | |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|