Управление составом полупроводниковых слоев
В книге рассмотрены законы распределения состава в эпитаксиальных и рекристаллизованных слоях.
Saved in:
Main Author: | |
---|---|
Format: | Book |
Published: |
НБ СевКавГТУ
|
Subjects: | |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|